සිලිකන් කාබයිඩ් කැන්ටිලිවර් පැඩලය
නිෂ්පාදන සවිස්තරාත්මක සහ යෙදුම
විශාල වේෆර් පැටවීමේ බලය සිලිකන් කාබයිඩ් SiSiC / SiC කැන්ටිලිවර් පැඩල් / කදම්භය රොබෝ ස්වයංක්‍රීය පැටවුම් සහ හැසිරවීමේ පද්ධතියක් සඳහා සුදුසු වන්නේ එයට ස්ථායී ක්‍රියාකාරිත්වය, ඉහළ උෂ්ණත්වයේ විරූපණය නොකිරීම සහ විශාල වේෆර් පැටවීමේ බලය ඇති බැවිනි. කැන්ටිලිවර් පැඩලයේ කොටස කිසිදු විරූපණයකින් තොරව ස්ථායී බැවින්, පවතින උදුන නල භාවිතයෙන් විශාල ප්‍රමාණයේ වේෆර් සෑදිය හැකිය. LPVCD ආලේපනය හා සමාන තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය මත පදනම්ව විශාල වේෆර් පැටවීමේ බලය සිලිකන් කාබයිඩ් SiSiC / SiC කැන්ටිලිවර් පැඩල් / කදම්භය LPVCD වෙත යෙදිය හැකි අතර එය නඩත්තු හා පිරිසිදු කිරීමේ චක්‍රය බෙහෙවින් දීර් and කරන අතර දූෂක ද්‍රව්‍ය සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි.
ප්‍රතික්‍රියා බන්ධිත සිලිකන් කාබයිඩ් RBSIC හි තාක්ෂණික පරාමිතීන්:
| අයිතමය | ඒකකය | දත්ත |
| යෙදුමේ උෂ්ණත්වය | ℃ | 1380 |
| ity නත්වය | G / cm3 | > = 3.02 |
| විවෘත සිදුරු | % | <0.1 |
| මෝගේ දෘ hard තාව පිළිබඳ පරිමාණය | 13 | |
| නැමීමේ ශක්තිය | එම්පී | 250 (20) |
| එම්පී | 280 (1200 ℃) | |
| නම්යතාවයේ මාපාංකය | ජීපීඒ | 330 (20) |
| ජීපීඒ | 300 (1200 ℃) | |
| තාප සන්නායකතාව | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| තාප ප්‍රසාරනයේ සංගුණකය | කේ -1 * 10-6 | 4.5 |
| අම්ල-ප්‍රතිරෝධී ක්ෂාරීය | විශිෂ්ටයි |
විශේෂාංග:
ඒ. එය ඉහළ උෂ්ණත්වයේ දී විරූපණය නොවන අතර වේෆර් පැටවීමේ බලය විශාල වේ;
බී. විශිෂ්ට තාප කම්පන ප්‍රතිරෝධය සහ දිගු සේවා කාලය;
ඇ. කැන්ටිලිවර් පැඩලයේ තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය අතිශයින් කුඩා වන අතර එය නඩත්තු හා පිරිසිදු කිරීමේ චක්‍රය බෙහෙවින් දිගු කරයි;
දූෂක ද්‍රව්‍ය විශාල ලෙස අඩු කරයි
සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි වලින් සාදන ලද අනෙකුත් පෝරණුවේ ගෘහ භාණ්ඩ
ප්‍රතික්‍රියා සින්ටර් සිලිකන් කාබයිඩ් සිසික් කැන්ටිලිවර් පැඩලය වේෆර් පැටවීම සඳහා අමතරව, අපි RBSIC / SISIC සිලිකන් කාබයිඩ් බාල්ක, තුණ්ඩ නල, සර්පිලාකාර තුණ්ඩ නළ, පිහිනුම් තුණ්ඩ නල, ඔක්සයිඩ් බන්ධිත SIC සිලිකන් කාබයිඩ් වවුලන් / සෙටර් තහඩුව සහ RBSIC සිසිලන පයිප්ප ඇතුළු අනෙකුත් පෝරණුවේ ගෘහ භාණ්ඩ නිෂ්පාදනය කරමු. .
ප්‍රතිරෝධී RBSIC / SISIC සිලිකන් කාබයිඩ් නිෂ්පාදන පළඳින්න
අපගේ RBSIC / SISIC සිලිකන් කාබයිඩ් නිෂ්පාදනයට විශිෂ්ට ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය සහ දිගු සේවා කාලය යන වාසි ඇති බැවින් එය පයිප්ප හෝ සුළි සුළං සැකසීමේදී පහසුවෙන් ස්ථාපනය කළ හැකි ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධක ලයිනිං බවට පත් කළ හැකිය.
